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第一卷 第287章 因为她看见了（第1页）

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因为她看见了（因为她看见了（第22页）“一号镜，左偏补偿0003。”“三号镜，抬高。”“五号镜，锁死。”“看掩膜版。”她声音不大。却像一把冰冷的锤子，砸进每个人耳朵里。操作员猛地回神，扑向副屏。画面切换。那道被强行归正的极紫外光束，穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。嗤！一声极轻的灼响。光，咬住了。“聚焦成功！”“主焦点锁定成功！”会场里先是一静。紧接着。轰！整个主控区像炸了一样。“成了！”“真的聚住了！”“曝光！快上曝光程序！”程美丽一掌拍下执行键。啪！晶圆工件台开始高速平移。涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。全场没人再说话。只剩设备运转的低沉轰鸣。还有众人压得发疼的呼吸。三分钟后。滴！曝光结束。晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。化学显影液如细雨般淋下。冲洗。定型。白色水雾弥散在玻璃罩内，遮得人眼前发白。“出来了。”程美丽开口。机械抓手应声探出，将首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。一名院士死死抓着自己的老花镜，指节泛白。程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。咔。目镜锁定。她低头看了一眼。没说话。直接抬手把显微镜画面投上了主屏。嗡！巨幕亮起。一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。晶格。线路。一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。每一条边缘都锋利。每一个拐角都干净。没有塌陷。没有毛刺。没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。05微米。李副部长盯着那串数字，整个人像是被雷劈中了。“零点……五……”他张了张嘴，声音却卡在嗓子里。下一秒。他猛地抬起手，死死捂住自己的脸。肩膀剧烈发抖。“成了……”“成了啊！”这声吼出来的时候，整个车间彻底炸了。欢呼声。拍桌声。金属栏杆被砸得咣咣作响。两名头发花白的院士当场红了眼，摘下眼镜抹脸，动作都在抖。其余人的反应彻底失控，几个人抱在一起，几个人高高举起图纸，像疯了一样吼。但这些声音，都被程美丽扔在了身后。她站在大屏前，盯着那片05微米的完美晶格，眼神却没有松下来。因为她看见了。在主屏最下方，一块被自动放大的微观区域里。某一道细密电路的边缘，正浮起一小片不正常的暗红色热斑。不大。只有针尖那么一点。却像一根细针，刺进了她的眼底。她没有出声。只是抬起手，用指尖轻轻敲了两下冰冷的显微镜外壳。笃。笃。主屏右下角的工艺流程时间提示，还在冷冰冰地跳。距离芯片蚀刻工序开始。还剩2小时。

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